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美國 KRI 射頻離子源 RFICP 220

美國 KRI 射頻離子源 RFICP 220
品 ?????牌: KRI
單????? 價: 面議面議
最小起訂: 1 臺
發(fā)貨期限: 自買家付款之日起 60起 天內(nèi)發(fā)貨
所??在?地: 上海市 上海
供貨總量: 1000 臺
有效期至: 長期有效
聯(lián)系我時,請?zhí)峒霸诎俜骄W(wǎng)看到,會有優(yōu)惠。

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產(chǎn)品詳細(xì)說明

價格貨期電議

上海伯東代理美國考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 220, 大面積高能量柵極離子源.

離子束流: >800 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000; 流量(Typical flow): 10-40 sccm; 壓力: < 0.5m Torr

離子束可聚焦, 平行, 散射.

采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長.

通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.


伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù):

離子源型號

RFICP 220

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>800 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

20 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

10-40 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

30 cm

直徑

41 cm

中和器

LFN 2000

* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量


伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 應(yīng)用領(lǐng)域:

1. 預(yù)清洗

2. 表面改性

3. 輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜)IBAD,

4. 濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC

5. 離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD

6. 離子蝕刻 IBE

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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