產品詳細說明
多晶硅材料是以工業(yè)硅為原料經一系列的物理化學反應提純后達到一定純度的電子材料,硅產品產業(yè)鏈中的一個極為重要的中間產品,是制造硅拋光片、太陽能電池及高純硅制品的主要原料,是信息產業(yè)和新能源產業(yè)基礎的原材料。半導體,芯片集成電路,設計版圖,芯片制造,工藝世界普遍采用先進的切、磨、拋和潔凈封裝工藝,使制片技術取得明顯進展。在日本,Φ200mm硅片已有50%采用線切割機進行切片,不但能提高硅片質量,而且可使切割損失減少10%。大型半導體廠家已經向300mm硅片轉型,并向0.13μm以下的微細化發(fā)展。另外,新尖端技術的導入,SOI等高功能晶片的試制開發(fā)也進入批量生產階段。對此,廠家也增加了對300mm硅片的設備投資,針對設計規(guī)則的進一步微細化,還開發(fā)了高平坦度硅片和無缺陷硅片等。