產(chǎn)品詳細說明
EDWARDS 愛德華 EH500 EH系列真空泵EH500
概述：
EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是最受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。
應(yīng)用
半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風(fēng)洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2 激光
功能和優(yōu)勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供：
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
先進的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到最低。
軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是先進技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
容積（工作容積）
50Hz 505 m3h-1/300 ft3min-1
60Hz 605 m3h-1/335 ft3min-1
使用后備泵時的有效抽取速度
E1M40 或 E2M40 350 m3h-1/206 ft3min-1
E1M80 或 E2M80 400 m3h-1/236 ft3min-1
E1M175 或 E2M175 440 m3h-1/259 ft3min-1
E1M275 或 E2M275 460 m3h-1/271 ft3min-1
泵的壓差 ?
50Hz 0-110 mbar/0-83 Torr
60Hz 0-90 mbar/0-68 Torr
入口連接 ISO100
出口連接 ISO63
轉(zhuǎn)速
50Hz 0-2900 rpm
60Hz 0-3500 rpm
連續(xù)入口操作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr
最大出口壓力 1000 mbar/760 Torr
推薦的后備泵 GV80，E2M80
電源供給
50Hz 220-240V/380-415V
60Hz 230V/460V
馬達功率
碳氫化合物 2.2kW/3hp
PFPE 2.2kW/3hp
ATEX 2.2kW
防爆型 3hp
環(huán)境溫度范圍
操作 5 至 40°C/40 至 104°F
存儲 -10 至 80°C/14 至 176°F
最大操作濕度 90% RH
推薦用油
標準型 Ultragrade 20
PFPE 版本 Fomblin? YVAC 16/6
油容量
聯(lián)結(jié)器箱 1.5 升
軸桿封口儲油器 0.125 升
重量* 106 kg/233 lb
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