產品詳細說明
產品特點:
采用電阻蒸發(fā)或電子槍蒸發(fā)方式，是鍍制多層光學薄膜（如彩色膜、增透膜、反光膜、金屬膜、導電膜等）的主要機器。廣泛應用在相機鏡頭、手機鏡片、光學片等各個領域。
技術參數:
▲真空室箱體：采用SUS304不銹鋼，直徑1200*1300mm，并可根據客戶要求實際定做。
▲夾具方式：球面形狀或平面形狀，具體按照客戶的產品來確定。
▲蒸發(fā)源：采用電子槍和熱電阻蒸發(fā)源，可根據需要配置大功率離子源、轟擊電源等輔助系統，可進行高精度蒸鍍。
▲膜厚控制:可選用光學膜厚測厚儀或石英晶體膜厚儀。
▲電源：配備直流電源，高壓轟擊電源，及蒸發(fā)大電流電源。
▲抽真空參數：從大氣抽至5*10‾³Pa≤8min 極限真空度8*10‾4Pa
▲抽氣系統：主要配備蘭州擴散泵，羅次泵，旋片泵，按照真空室大小確定，并可根據客戶要求靈活改變配置。
▲控制系統：可以選用手動控制；計算機控制，觸摸屏面板控制。
▲其他：配備電熱加熱系統，可以選配擴散泵自動油溫控制裝置。冷水機組等等
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