無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬設(shè)備之配合投資外，也需要良好的軟件——管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度；無塵室運(yùn)轉(zhuǎn)管理，可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及無塵室內(nèi)所用東西等加以探討；無塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，本節(jié)將對(duì)該二系統(tǒng)之運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)及保養(yǎng)做一概略說明。

一、污染源控制


無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬設(shè)備之配合投資外，也需要良好的軟件——管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度。無塵室內(nèi)之微污染來源，經(jīng)測試分析結(jié)果，作業(yè)人員占約80%。


     無塵室的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。外污染源主要包括空調(diào)送風(fēng)、間隙滲入、建筑物、工作服、風(fēng)管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內(nèi)污染源則包括制程設(shè)備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等。


     對(duì)硅芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運(yùn)作功能，因此微污染源的控制已成為無塵室管理的重要環(huán)節(jié)。表一為自然環(huán)境所測得的塵埃濃度，可為設(shè)計(jì)參考，而在微污染控制，其基本原則有四：


1.外部塵埃侵入之防止：無塵室運(yùn)轉(zhuǎn)與維護(hù)管理


無塵室適當(dāng)之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設(shè)備、原材料搬入無塵室前先做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作，空氣過濾器適當(dāng)?shù)墓芾砗驮O(shè)置。


2.室內(nèi)發(fā)塵之防止：無塵室運(yùn)轉(zhuǎn)與維護(hù)管理


隔間板、地板等無塵室材料的適當(dāng)選用、制程設(shè)備的發(fā)塵抑制、生產(chǎn)自動(dòng)化及人員不聚集、動(dòng)作放松、潔凈衣的管理、使用無塵室專用器等。


3.室內(nèi)發(fā)塵之不積留：


墻壁體應(yīng)光滑無死角、無塵室需定期保養(yǎng)和清掃、制程設(shè)備四周應(yīng)留有空間。


4.發(fā)生塵埃之排除：


換氣次數(shù)應(yīng)足夠，適當(dāng)?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須適當(dāng)。


人、物入室的管理問題、實(shí)際的作業(yè)條件和工程管理關(guān)聯(lián)之問題、室內(nèi)之空調(diào)及清掃關(guān)系之問題，這些問題將于下節(jié)祥述。無塵室運(yùn)轉(zhuǎn)與維護(hù)管理